北京師范大學(xué)光電儀器廠UV-340輻照計用于測量315~370nm波段中心波長為340nm紫外線輻照強度,測量范圍0.1~199.9x10^3 μW/cm2,示值誤差±8%,適用于光化學(xué)、高分子材料老化、以及大規(guī)模集成電路PCB光刻固化等紫外光源強度測量驗證,另有UV-313型號峰值波長313nm。
光阻劑廣泛用于PCB線路板行業(yè),通過其使用蝕刻化學(xué)品來布置電路連接或印刷電路板跡線,也被用于半導(dǎo)體工業(yè),它是用于形成單個半導(dǎo)體器件的微小電路的微圖案的光刻生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟。Photoresist光刻膠工藝過程控制光線輻射強度和曝光時間至關(guān)重要,它可以避免在加工和生產(chǎn)過程中光刻膠的浪費性下曝光或曝光過度。為了保持這些設(shè)置,需要具有盡可能接近光阻劑作用光譜的測光表來精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度。在暴露于紫外線的條件下對產(chǎn)品進(jìn)行固化,同時又快又經(jīng)濟,需要仔細(xì)控制曝光過程,例如光源的光譜輸出、強度等級和曝光時間。
北京師范大學(xué)光電儀器廠致力于光輻射測量儀器的研發(fā),已成為國內(nèi)在該方向最有影響的單位之一,專業(yè)生產(chǎn)光照度計、光亮度計、輻照計、紫外輻照計、光譜光度計、LED光強計等光輻射和顏色測量儀器,廣泛應(yīng)用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)療衛(wèi)生、 科學(xué)研究等領(lǐng)域, 至今累計推向市場的各種儀器在50000臺/件以上。其中,光照度計、紫外輻照計等產(chǎn)品是國家檢定目錄上的計量儀器, 客戶群體包括中國科學(xué)院、中國計量院、航天一院、航天二院、航天五院、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等國內(nèi)知名院所和高校。北師大光電UV-340紫外輻照計測量響應(yīng)波段315~370nm,中心波長λP=340nm,量程范圍199.9x10^3μW/cm2,分辨率μW/cm2,精度<±8.0%??商峁┐k中國計量科學(xué)研究院第三方計量檢測報告,計量費用按標(biāo)準(zhǔn)實收,檢測周期為十至十五個工作日。
項目 | 參數(shù) |
型號及測量波長 |
UV-313紫外照度計響應(yīng)波長范圍290~340nm,峰值波長λP=313nm UV-340輻照計響應(yīng)波段315~370nm,中心波長λP=340nm |
輻照度測量范圍 |
0.1~199.9x10^3 μW/cm2 1μw/cm2 = 0.001mw/cm2 1μw/cm2 = 0.01 w/m2 |
零值誤差(滿量程FS) | <滿量程的±1.0% |
長波響應(yīng)誤差 | <15% |
余弦特性(方向性響應(yīng))誤差 | <10% |
非線性誤差 | <±1.5% |
換檔誤差 | <±1.0% |
疲勞誤差 | <3.0% |
相對示值誤差 | <±8.0%(相對于NIM標(biāo)準(zhǔn)) |
響應(yīng)時間 | <1秒 |
使用環(huán)境 | 溫度(0~40)℃;濕度<85%RH |
尺寸和重量 | 160mm×78mm×43mm;0.2kg |
電源 | 6F22型9V積層電池(非充電電池),整機功耗<0.1VA |
裝箱清單 | 主機、探頭、探頭蓋、數(shù)據(jù)線、說明書、合格證/保修單、9V積層電池、儀器箱 |
照度計 | 照度計 | ST-80C,老款手動量程范圍0.1~199900lx | 手動量程 |
照度計 | ST-85數(shù)字照度計,范圍0.1~199900lx | 自動量程 | |
弱光照度計 | ST-86L | 手動量程 | |
弱光照度計 | ST-86L(驗光儀用) | 自動量程 | |
亮度計 | 屏幕亮度計 | ST-86LA(10-1),默認(rèn),分辨率0.1cd/㎡ | 自動量程 |
屏幕亮度計 | ST-86LA(10-2),分辨率0.01cd/㎡ | 自動量程 | |
屏幕亮度計 | ST-86LA(10-3),分辨率0.01cd/㎡ | 自動量程 | |
紫外輻照計 | UVA波段 | UV-A紫外輻照計(單通道),365nm標(biāo)配、420nm探頭可選 | 自動量程 |
UV-A(雙通道),365nm/420nm探頭各一個 | 自動量程 | ||
UVB波段 | UV-B紫外照度計(單通道),254nm標(biāo)配/297nm探頭可選 | 自動量程 | |
UV-B(雙通道),254nm/297nm探頭各一個 | 自動量程 | ||
313nm納米 | UV-313輻照計,313nm中心波長、響應(yīng)290-240nm | 自動量程 | |
340nm納米 | UV-340紫外線輻照計,340nm中心波長、響應(yīng)315~370nm波段 | 自動量程 | |
定制UVA/UVB | 定制365nm、297nm雙通道,或定制254nm、365nm雙通道紫外輻照計 | 自動量程 | |
定制雙通道型 | 定制313nm、340nm雙通道輻照計 | 自動量程 | |
其他輻照計 | 紫外/可見光照度計 | 特殊定制波段范圍 | 自動量程 |
可見光 | FZ-A可見光波長輻照度測量儀,波長范圍400~1000nm(另可訂725~1050nm | 自動量程 | |
光合輻射 | FGH-1光合輻射計,模擬光合有效函數(shù) | 自動量程 | |
藍(lán)光輻射 | FL-1D藍(lán)光輻射計 | 自動量程 | |
發(fā)光二極管 | ST-86LB發(fā)光光強計 | 自動量程 |